成果编号:
成果名称:
获奖名称: 电子束掺杂研究
获奖类别: 中科院科技进步奖
获奖等级: 三等奖
授奖部门: 中国科学院
获奖时间: 1994年
主要完成人: 王培大等
登记人:
开始日期: 1994年
结束日期:
完成单位: 中国科学院半导体研究所等
成果介绍: