成果编号:
成果名称:
获奖名称: 电子级气体N2、H2、O2、Ar、He、HCl、CO2、NH3 28种杂质 分析技术及质量监控
获奖类别: 国家科学技术进步奖
获奖等级: 三等奖
授奖部门: 国务院
获奖时间: 1991年
主要完成人: 闻瑞梅 李希云 王铁龄 王桂英
登记人:
开始日期: 1991年
结束日期:
完成单位: 中科院半导体研究所
成果介绍: