成果编号:
成果名称:
获奖名称: 微机控制光加热外延炉的研制和硅外延技术研究
获奖类别: 中科院科技进步奖
获奖等级: 二等奖
授奖部门: 中国科学院
获奖时间: 1992年
主要完成人: 梁骏吾 杨 辉 郭钟光 邓礼生 郑红军 张 隽 吕旭如 黄大定 汪光川
登记人:
开始日期: 1992年
结束日期:
完成单位: 中科院半导体研究所
成果介绍: