成果编号:
成果名称:
获奖名称: 电子工业用气体--硅烷 GB/T 15909--1995
获奖类别: 化学工业部科技进步奖
获奖等级: 三等奖
授奖部门: 化学工业部
获奖时间: 1997年
主要完成人: 余京松 何道善 佘中玉 姚奎鸿
登记人:
开始日期:
结束日期:
完成单位: 化工部西南化工研究院、浙江大学、半导体所
成果介绍: